臭氧滅菌為溶菌級方法，殺菌徹底，無殘留，殺菌廣譜，可殺滅細菌繁殖體和芽孢、病毒、真菌等，并可破壞肉毒桿菌素。另外，O3對霉菌也有極強的殺滅作用。O3由于穩(wěn)定性差，很快會自行分解為氧氣或單個氧原子，而單個氧原子能自行結(jié)合成氧分子，不存在任何有毒殘留物，所以，O3是一種無污染的消毒劑。O3為氣體，能迅速彌漫到整個滅菌空間，滅菌無死角。而傳統(tǒng)的滅菌消毒方法，無論是紫外線，還是化學(xué)熏蒸法，都有不徹底、有死角、工作量大、有殘留污染或有異味等缺點，并有可能損害人體健康。如用紫外線消毒，在光線照射不到的地方?jīng)]有效果，有衰退、穿透力弱、使用壽命不長等缺點?；瘜W(xué)熏蒸法也存在不足之處，如對抗藥性很強的細菌和病毒，則殺菌效果不明顯。
