在管系統(tǒng)上應(yīng)設(shè)置吹除口
1.潔凈室墻壁或樓板的氣體管道，應(yīng)敷設(shè)在預(yù)埋套管內(nèi)，套管內(nèi)的管段不應(yīng)有焊縫。管道與套管之間應(yīng)采取可靠的密封措施。
2.和氧氣管道的末端或最高點(diǎn)宜設(shè)放散管。放散管應(yīng)高出屋脊1米，并應(yīng)設(shè)在防雷保護(hù)區(qū)內(nèi)。
3.凈化設(shè)備應(yīng)設(shè)在靠近用氣點(diǎn)處。
4.氣體過(guò)濾器應(yīng)根據(jù)生產(chǎn)工藝對(duì)氣體含塵量的要求進(jìn)行選擇。高純氣體管道應(yīng)裝設(shè)高效氣體過(guò)濾器。
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