我國電子信息產(chǎn)業(yè)將持續(xù)發(fā)展，國內(nèi)企業(yè)必須做好依靠精品工程獲取利潤的準備。由碧海永樂設計并建造的清溢TFT-LCD掩模版項目就是最好的例證。該項目潔凈室空氣潔凈度等級為1級(美聯(lián)邦標準FS209，相當于國際標準ISO3級)和10級(美聯(lián)邦標準FS209，相當于國際標準ISO4級)，且面積達到800平方米。該工程不僅潔凈度要求較高，同時對溫度、相對濕度、防微振、防靜電等相關參數(shù)的要求也遠遠超出一般設計要求，對設計人員的設計水平是一個嚴峻的挑戰(zhàn)。
為了滿足高級別潔凈度的要求，在設計、建造過程中，碧海永樂堅持科技領先、創(chuàng)新工藝設計。針對空氣過濾，采用了空氣凈化系統(tǒng)6級過濾流程——— 初效、中效、化學、中效、高效、超高效(終端)，實踐證明行之有效。在ISO3級和ISO 4級潔凈室，斷面風速采用0.35m/s，結果證明氣流組織合理。在項目設計、建設過程中，工程人員還引入了國際理念，在國內(nèi)首次采用《潔凈室與相關受控環(huán)境》性能及合理性評價準則，對潔凈室的全過程進行控制，達到了預期效果。行業(yè)專家認為，該項目潔凈室HVAC系統(tǒng)(MAU+FFU+DC)合理可行。經(jīng)美國專業(yè)公司采用國際標準測試，該項目潔凈室溫度、相對濕度、潔凈度、壓力梯度等潔凈室主要參數(shù)均達到TFT-LCD掩模版工藝生產(chǎn)要求。
中國潔凈室設計建造水平的掩模版制造考驗
2007年11月28日，備受國內(nèi)外潔凈室建造界關注的“中國第一潔凈室”——— 清溢精密光電TFT掩模版項目正式竣工。這標志著我國1級、10級潔凈室設計建造不能完全獨立完成的歷史的結束，充分展示了我國潔凈室建設的超高水平。該項目是第一家由國內(nèi)凈化公司獨立完成設計、施工的1級凈化項目，標志著我國已擁有國際潔凈室設計建造的最先進水平。 |
