6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 （Clean Room）
「潔凈室」是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。 （Clean Spot）
潔凈室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達(dá)99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)由此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。
1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。
5. 有害氣體之排除。
（一）潔凈室之定義
潔凈室，亦稱為無(wú)塵室或清凈室。
2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。
?。?）隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶、門。因產(chǎn)品和功課員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節(jié)省能源，不需人工的自動(dòng)化出產(chǎn)線為最相宜使用。
潔凈室內(nèi)的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì)有渦流現(xiàn)象發(fā)生，相對(duì)地在其四周之潔凈度將會(huì)較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現(xiàn)象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當(dāng)、設(shè)備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現(xiàn)象之重要因素。
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（五）潔凈室氣流之活動(dòng)
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機(jī)器隔間、建筑結(jié)構(gòu)等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴(kuò)散受到氣流的支配。
另一方面欲達(dá)到潔凈室潔凈度之不亂效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì)延著壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現(xiàn)高潔凈度事實(shí)上很難題。另外若系統(tǒng)休止運(yùn)轉(zhuǎn)再激活，欲達(dá)需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相稱長(zhǎng)一段時(shí)間。
一般操縱臺(tái)或出產(chǎn)設(shè)備等表面的氣流分流點(diǎn)，應(yīng)設(shè)于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如斯可使功課職員工作時(shí)，氣流可從制程區(qū)內(nèi)部流向功課區(qū)，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區(qū)前方，將成為不當(dāng)?shù)臍饬鞣至鳎藭r(shí)大部份的氣流將流至制程區(qū)之后，功課員操縱所引起的塵埃將被帶到設(shè)備后面，工作臺(tái)因而將受到污染，良率也勢(shì)必降低。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi)空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。此型式合用于潔凈室等級(jí)1,000-100,000級(jí)。
?。?）潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)由的自動(dòng)出產(chǎn)線包抄并凈化處理，將潔凈度等級(jí)提至100級(jí)以上。然而潔凈室內(nèi)除了人以外，尚有機(jī)器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴(kuò)散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必需利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
209E與209D等最大之不同在于209E表示單位增加了公制單位，潔凈室等級(jí)以‵M′字頭表示，如M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之尺度化，M字母后之阿拉伯?dāng)?shù)量字是以每立方公尺中>=0.5μm之微塵粒子數(shù)量字以10的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以1.5、2.5、3.5….表示。速渡過(guò)低或過(guò)高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現(xiàn)象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。
潔凈地道另有二項(xiàng)長(zhǎng)處：A.彈性擴(kuò)充輕易； B.維修設(shè)備時(shí)可在維修區(qū)等閑執(zhí)行。
?。?）照明用具：包括日光燈、黃色燈管等。
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3.復(fù)合式（Mixed Type）：
復(fù)合式為將亂流式及層流式予以復(fù)合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
垂直層流式方向要保持均一氣流必需：（a）吹出頭具名的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。 （HEPA）
長(zhǎng)處：構(gòu)造簡(jiǎn)樸、系統(tǒng)建造本錢，潔凈室之?dāng)U充比較輕易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺(tái)，進(jìn)步潔凈室等級(jí)。
10. 節(jié)能之考量。
潔凈室內(nèi)的氣流是左右潔凈室機(jī)能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬輕風(fēng)區(qū)域，易受人、機(jī)器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖進(jìn)步風(fēng)速可按捺此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的進(jìn)步，將影響運(yùn)轉(zhuǎn)本錢的增加，所以應(yīng)在知足要求的潔凈度水準(zhǔn)之時(shí)，能以最適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供給，以達(dá)到適當(dāng)?shù)娘L(fēng)速供賜與達(dá)到經(jīng)濟(jì)性效果。
美國(guó)聯(lián)邦尺度FS 209D都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以0.1μm微粒子為計(jì)數(shù)尺度。日本尺度之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等級(jí)為Class 1，最差則為Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為10的冪次方，取其指數(shù)而得。此型式需將功課職員之工作區(qū)與產(chǎn)品和機(jī)器維修予以隔離，以避免機(jī)器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
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（二）潔凈室之等級(jí)
世界各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍仍是用美國(guó)聯(lián)邦尺度209為多，以下僅就209D及209E和世界上其它各國(guó)制定尺度作先容與相互比較。亦等于不論外在之空氣前提如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等機(jī)能之特性。
?。?）垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器籠蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作職員所
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產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì)影響其它工作區(qū)域。氣流非直線型運(yùn)動(dòng)而呈不規(guī)則之亂流或渦流狀態(tài)。
?。?）并裝局部潔凈室：將潔凈室等級(jí)10,000~100,000之亂流潔凈室內(nèi)之產(chǎn)品制程區(qū)的潔凈度等級(jí)進(jìn)步為10~1000級(jí)以上，認(rèn)為出產(chǎn)之用；潔凈工作臺(tái)、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類。
?。?）潔凈地道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區(qū)域或工作區(qū)域100%籠蓋使?jié)崈舳鹊燃?jí)進(jìn)步至10級(jí)以上，可節(jié)省安裝運(yùn)轉(zhuǎn)用度。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中出產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「潔凈室」。 ?
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2.層流式： （Laminar）
層流式空氣氣流運(yùn)動(dòng)成一平均之直線形，空氣由籠蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)，此型式合用于潔凈室等級(jí)需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級(jí)為Class 1~100。
4. 壓力之調(diào)節(jié)。
9. 安全因素之考慮。
?。?）地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。
潔凈室之建筑主體構(gòu)造，一般是用鋼筋或骨水泥，但不管是何種構(gòu)造，必需知足如下之前提：
A.不會(huì)因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂縫；
B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著粒子；
C.吸濕性??；
D.為了維持室內(nèi)之濕度前提，熱絕緣性要高；
